Thiết kế và chế tạo cảm biến góc nghiêng kiểu tụ điện dựa trên cấu trúc hai pha lỏng khí

Abstract

Bài báo này giới thiệu thiết kế, chế tạo và khảo sát hoạt động cảm biến góc nghiêng kiểu tụ điện dựa trên cấu trúc hai pha lỏng khí. Cấu trúc cảm biến góc nghiêng được chế tạo gồm 3 điện cực có kích thước như nhau, được thiết kế ôm ống như chứa dung dịch, mỗi điện cực có chiều dài 30 mm, khoảng cách giữa các điện cực là 5 mm. Cảm biến này có thể đo được các góc nghiêng trong dải từ 0 độ đến 75 với độ chính xác ± 0,5.